İstanbul Üniversitesi
Research Laboratories Information System

İleri Litografik Yöntemler Laboratuvarı

İleri Litografik Yöntemler Laboratuvarı

Temiz oda, mikro ve nano boyutlarda fabrikasyon, görüntüleme ve yapısal karakterizasyon işlemlerine olanak vermektedir. 




Kalkınma Bakanlığının altyapı projesi olarak 2014 yılında kurulumu tamamlanmış olan İleri Litografik Yöntemler Laboratuvarı, 100 m2 alanda 10, 100 ve 1000 sınıfı temiz oda ortamında, elektronik/optoelektronik aygıtların nano/mikro boyutta fotolitografik ve kuru aşındırma teknikleriyle fabrikasyonu, nanolitografi, katıların yüzey ve kesitlerinin nanometre skalasında görüntülenmesi, malzemelerin bileşimlerinin belirlenmesine yönelik araştırmalar yapılmasına uygun donanıma sahiptir.

100 sınıfı sarı odada fotolitografi prosesi donanımı: (10 sınıfı laminar akışlı, döndürerek kaplama, sıcak tabla, ultrasonik temizleyici kimyasal tezgâh, Maske hizalayıcı, termal buharlaştırma sistemi, profilometre), kuru aşındırma prosesi donanımı (Odaklanmış iyon/elektron demeti), Görüntüleme cihazları (SEM, AFM), malzeme bileşimi tayini (EDS).



İstanbul Üniversitesi, Fen Fakültesi, Fizik Bölümü, İleri Litografik Yöntemler Laboratuvarı, Vezneciler, Fatih/İstanbul, 34134

Toplam kullanılan BAP Kaynağı: 200.000,00 TL


© 2019 İstanbul Üniversitesi
Bilgi İşlem Daire Başkanlığı